光电器件的失效分析

光电子领域的工业界和研究机构的主要关注点在于不断提高器件性能、改进工艺和降低成本。

Digital Surf 的合作伙伴 Attolight（位于瑞士洛桑）专注于一种名为“定量阴极发光”或定量 CL 的创新型高光谱技术，能够在传统光谱技术达到其极限的情况下快速生成有价值的数据。

这项技术使用户能够快速高效地分析薄膜和光电器件。这对于识别工艺和材料缺陷、进行质量控制以及加速新制造工艺或新产品的推出尤为有用。

在下面的示例中，定量 CL 技术与 Mountains® 软件的强大功能相结合，可以定位和识别最先进的绿色激光二极管中的退化层。

激光二极管的应力分析

Attolight 的定量阴极发光 (CL) 显微镜用于对固态照明（LED 和激光二极管）和高功率电子器件进行快速、无损的故障分析。其卓越的空间分辨率和高光谱分析能力，能够逐层定位并识别器件中的退化现象。

上图显示的是激光二极管在因热应力或电应力等原因发生劣化之前的状态。
基于 Digital Surf 公司的 Mountains® 高光谱软件的 AttoMap 软件，被证明是定位、表征和了解此类缺陷的理想工具。

如上图所示，使用 Mountains® 中的“提取光谱”运算符可以比较两台激光器的光谱。
图中绿色曲线代表全新激光器，红色曲线代表损坏激光器。两者之间的差异可以精确量化。

Mountains® 还允许用户将阴极发光显微镜捕获的 RGB 图像转换为 3D 模型，其中第三维对应于阴极发光强度。
该 3D 模型可以实时以任意缩放级别和角度查看，极大地简化了检测过程。在本例中，3D 视图清晰地显示了激光器受到的损伤。

使用的仪器和软件

Attolight定量阴极发光(CL)显微镜 + 基于Mountains®技术的AttoMap软件