π-Photon 紧凑型VUV紫外光源

π-Photon新一代紧凑型紫外光源

π-Photon 是一种新型微等离子体紫外光源，在紧凑的模块化外形中结合了高功率、卓越均匀性和多功能性。可提供的发射波长有：172 nm、222 nm、308 nm。一体化结构
高效光源、集成电源、被动冷却和内置吹扫系统意味着运行所需的一切都已集成在系统内部。只需插上随附的 12 V 电源适配器，并通过 1/4 英寸快插接头连接吹扫气源（仅 172 nm 系统需要吹扫），π-Photon 即可投入使用。

你了解现代 VUV 和远紫外 C（Far-UVC）的应用吗？

• 222 nm 辐射对皮肤安全，并且能够高效杀灭病毒和细菌：，

• 172 nm 辐射能够精确光烧蚀有机物，并在微流控、生物医学和光学研究领域具有优势：

• 172 nm 光子能够使 PDMS 玻璃化并提高其亲水性：

完整且灵活的 VUV 曝光系统
采用模块化设计理念，π-Photon 开箱即可提供以下能力：

• 具有集成惰性气体吹扫功能的大面积通用 VUV 泛光曝光

• 配备曝光腔和掩膜夹持器的基础光处理功能

• 利用标准化安装系统与现有设备集成

• 可定制适配器，用于真空法兰、手套箱、曝光腔和反应器

应用领域

• 高分辨率光刻

• 光烧蚀

• 光解 / 光催化过程

• 表面能调控

• 臭氧生成

• 低损伤原子级表面清洗

• 增强薄膜附着力

• 选择性表面改性 / 转化

特点

• 新一代 VUV 光源

• 同类最佳输出强度

• 卓越光束均匀性：在可用孔径范围内达到 3%

• 长寿命：> 2000 小时

• 几乎瞬时点亮

• 紧凑、坚固、便携

• 标准化附件安装系统：一个光源，多种应用

• 直观设计，降低所有用户的培训要求

• 运行和工艺过程更加环保

一种全新的工艺范式
传统 VUV 和 Far-UVC 光源输出功率较低，这限制了这些波长在科研和生产环境中的广泛应用。π-Photon 打破了这一障碍，正在展现紫外光真正的潜力——推动新的化学过程、反应机制和加工技术的发展。紫外线不再仅仅用于光刻和固化！

重新定义“功率”
UV 弧光灯可提供高平均功率，准分子 UV 光源可提供高光子通量。而 π-Photon 则同时提供高平均功率和高光子通量，并且无需主动或外部冷却。这种高功率与高光子通量的独特组合，被封装在一个手掌大小的装置中，却能够驱动其他光源无法实现的大面积反应和工艺。

灯技术中的全新形态
每个 π2-Cygni 的核心是一种平面微腔放电灯。大面积发光相较传统弧光放电灯具有更优异的均匀性，同时也无需复杂的聚光、准直和均光光学系统。

紫外技术如今也可以是绿色的
在 π-Photon 出现之前，紫外光的产生通常意味着有毒材料、较低的转换效率和高昂的设备成本。π-Photon 打破了这些壁垒，提供了一种环保且节能的解决方案。π-Photon 的制造和结构中不使用有毒材料，并且在生产工艺中使用 π-Photon 有望减少化学废物流和用水量，而成本仅为其他 VUV / Far-UVC 光源的一小部分。